碳化硅（SiC）作為一種高性能材料，近年來在半導(dǎo)體行業(yè)中備受關(guān)注。然而，碳化硅的應(yīng)用遠(yuǎn)不止于此，它不僅用于制造功率器件，還被廣泛應(yīng)用于多個(gè)領(lǐng)域作為磨料、切削工具、結(jié)構(gòu)材料、光學(xué)材料以及催化劑載體等。

碳化硅復(fù)合陶瓷材料以SiC和Si為主要組分，加入添加劑后成型，然后放置在氮化爐中通入高純氮?dú)?，在一定溫度下氮化燒結(jié)而成。碳化硅陶瓷制備方法包括反應(yīng)燒結(jié)法、重結(jié)晶燒結(jié)法，熱壓燒結(jié)法，無壓燒結(jié)法等。導(dǎo)體設(shè)備用碳化硅零部件包括水冷盤、吸盤和晶舟等，具備高精密、高純度、強(qiáng)耐化學(xué)和離子腐蝕能力的特點(diǎn)。碳化硅陶瓷在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用工業(yè)窯爐方面，主要應(yīng)用場(chǎng)景從早先的日用、衛(wèi)生陶瓷窯爐用結(jié)構(gòu)件等傳統(tǒng)工業(yè)結(jié)構(gòu)陶瓷發(fā)展為新能源、半導(dǎo)體窯爐用結(jié)構(gòu)件等各類中高端工業(yè)結(jié)構(gòu)陶瓷。