半導(dǎo)體用碳化硅部件
產(chǎn)品分類： 根分類
特別適用于半導(dǎo)體制造工藝部件
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碳化硅具有優(yōu)異的熱導(dǎo)率、出色的機(jī)械性能、良好的化學(xué)穩(wěn)定性，特別適用于半導(dǎo)體制造工藝部件，例如光刻機(jī)用碳化硅凸點(diǎn)吸盤和環(huán)狀吸盤、鍵合用壓板和吸盤以及半導(dǎo)體封裝設(shè)備部件等。
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